大家好,今天小编关注到一个比较有意思的话题,就是关于靶材的问题,于是小编就整理了3个相关介绍靶材的解答,让我们一起看看吧。
靶材的作用和用途?
靶材的作用和用途?先解释Ar原子是如何变成Ar离子的:当电场中阴阳两极间电位达到临界电离电压后,通过其中的气体分子分发生电离,其气体分子的最外层电子被剥离出来,其中一部分射向阳极,一部分由于洛伦兹力的作用环绕磁力线运动而被束缚在靶附近,这部分环绕的电子在加速运动中获得了极大的动能后继续与气体分子碰撞,撞击出更多的电子和Ar正离子。Ar正离子在电场的作用下射向阴极靶材。Ar离子轰击到靶材后,所带的正电荷会被靶表面所带的电子中和,重新变成中性原子,因为Ar在通常状态下呈气态,所以绝大部分Ar原子会溢出靶表面,被分子泵抽走。但是也有极少部分Ar原子由于能量过高,嵌入靶材过深,导致难以溢出,就会留在靶的浅表面,一般情况下,这部分Ar原子是不会和金属靶材发生反应的,它以单质的形式存在,并且会随着时间的推移慢慢逸出靶表面。你感兴趣的话可以去做一个不同工艺条件下随时间推移靶材表面Ar原子残留量的成分分析实验,为了得到一个定量的结果,建议采用EDS或XPS进行。(当然不排除Ar和金属反应这种可能,由于我知识量有限,尚未查到这方面的介绍,如果有,请补充)..
超导靶材是什么?
超导靶材是指用于制备超导薄膜或超导器件的材料。超导材料是一种在低温下展现出零电阻和完美电子输运的特性的材料。超导靶材通常是高纯度的化合物或合金,具有特定的晶体结构和化学组成,以满足超导性能的要求。
靶材属于半导体什么器件?
靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应。
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。
材质分类:
⒈金属靶材
镍靶、Ni、钛靶、Ti、锌靶、Zn、铬靶、Cr、镁靶、Mg、铌靶、Nb、锡靶、Sn、铝靶、Al、铟靶、In、铁靶、Fe、锆铝靶、ZrAl、钛铝靶、TiAl、锆靶、Zr、铝硅靶、AlSi、硅靶、Si、铜靶Cu、钽靶T、a、锗靶、Ge、银靶、Ag、钴靶、Co、金靶、Au、钆靶、Gd、镧靶、La、钇靶、Y、铈靶、Ce、钨靶、w、不锈钢靶、镍铬靶、NiCr、铪靶、Hf、钼靶、Mo、铁镍靶、FeNi、钨靶、W等。
⒉陶瓷靶材
ITO靶、氧化镁靶、氧化铁靶、氮化硅靶、碳化硅靶、氮化钛靶、氧化铬靶、氧化锌靶、硫化锌靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、五氧化二铌靶、二氧化钛靶、二氧化锆靶,、二氧化铪靶,二硼化钛靶,二硼化锆靶,三氧化钨靶,三氧化二铝靶五氧化二钽,五氧化二铌靶、氟化镁靶、氟化钇靶、硒化锌靶、氮化铝靶,氮化硅靶,氮化硼靶,氮化钛靶,碳化硅靶,铌酸锂靶、钛酸镨靶、钛酸钡靶、钛酸镧靶、氧化镍靶、溅射靶材等。
⒊合金靶材
铁钴靶FeCo、铝硅靶AlSi、钛硅靶TiSi、铬硅靶CrSi、锌铝靶ZnAl、钛锌靶材TiZn、钛铝靶TiAl、钛锆靶TiZr、钛硅靶TiSi、 钛镍靶TiNi、镍铬靶NiCr、镍铝靶NiAl、镍钒靶NiV、镍铁靶NiFe等。
到此,以上就是小编对于靶材的问题就介绍到这了,希望介绍关于靶材的3点解答对大家有用。
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