大家好,今天小编关注到一个比较有意思的话题,就是关于黄光工艺的问题,于是小编就整理了3个相关介绍黄光工艺的解答,让我们一起看看吧。
光阻剥离属于什么工序?
光阻剥离(stripping)是在半导体或显示器的黄光微影工艺的最后一道步骤,就是将上道蚀刻步骤中保护图案的光阻去除,避免光阻残留污染下一道黄光微影工艺,以获得干净的有线路图案的基板。
光阻,亦称为光阻剂,是一个用在许多工业制程上的光敏材料。光阻剥离是一种光阻剥离装置以及光阻剥离方法,通过在过滤装置的滤芯中添加mof材料,该材料在可见光下可以捕捉溶液中的氧气,降低溶液中的溶解氧,进而降低缝隙内外的氧浓度差,缓解因基板剥离光阻所产生铜的掏空现象;进一步的,当达到饱和时,可对其进行加热或者紫外光照,将其吸附的氧气释放出去,进而可循环使用滤芯材料。
led衬底红黄光芯片生产有污染吗?
一般说半导体工业都是有排放污染的可能的。
LED的生产也不例外。芯片清洗光刻与腐蚀都会大量排放有机废液与无机废液,扩散工艺会向大气排放部分有害有毒废气。但是这些废物都是可以回收处理的。只要生产线设计科学合理,废液集中回收,废气稀释排放,可以对环境的污染最小化。led制作流程?
1.LED芯片检验
镜检:材料表面是否有机械损伤及麻点麻坑(lockhill芯片尺寸及电极大小是否符合工艺要求电极图案是否完整
2.LED扩片
由于LED芯片在划片后依然排列紧密间距很小(约0.1mm),不利于后工序的操作。我们采用扩片机对黏结芯片的膜进行扩张,是LED芯片的间距拉伸到约0.6mm。也可以采用手工扩张,但很容易造成芯片掉落浪费等不良问题。
3.LED点胶
在LED支架的相应位置点上银胶或绝缘胶。(对于GaAs、SiC导电衬底,具有背面电极的红光、黄光、黄绿芯片,采用银胶。对于蓝宝石绝缘衬底的蓝光、绿光LED芯片,采用绝缘胶来固定芯片。)
工艺难点在于点胶量的控制,在胶体高度、点胶位置均有详细的工艺要求。
由于银胶和绝缘胶在贮存和使用均有严格的要求,银胶的醒料、搅拌、使用时间都是工艺上必须注意的事项。
4.LED备胶
和点胶相反,备胶是用备胶机先把银胶涂在LED背面电极上,然后把背部带银胶的LED安装在LED支架上。备胶的效率远高于点胶,但不是所有产品均适用备胶工艺。
5.LED手工刺片
将扩张后LED芯片(备胶或未备胶)安置在刺片台的夹具上,LED支架放在夹具底下,在显微镜下用针将LED芯片一个一个刺到相应的位置上。手工刺片和自动装架相比有一个好处,便于随时更换不同的芯片,适用于需要安装多种芯片的产品。
6.LED自动装架
自动装架其实是结合了沾胶(点胶)和安装芯片两大步骤,先在LED支架上点上银胶(绝缘胶),然后用真空吸嘴将LED芯片吸起移动位置,再安置在相应的支架位置上。自动装架在工艺上主要要熟悉设备操作编程,同时对设备的沾胶及安装精度进行调整。在吸嘴的选用上尽量选用胶木吸嘴,防止对LED芯片表面的损伤,特别是蓝、绿色芯片必须用胶木的。因为钢嘴会划伤芯片表面的电流扩散层。
7.LED烧结
烧结的目的是使银胶固化,烧结要求对温度进行监控,防止批次性不良。银胶烧结的温度一般控制在150℃,烧结时间2小时。根据实际情况可以调整到170℃,1小时。绝缘胶一般150℃,1小时。
银胶烧结烘箱的必须按工艺要求隔2小时(或1小时)打开更换烧结的产品,中间不得随意打开。烧结烘箱不得再其他用途,防止污染。
8.LED压焊
压焊的目的将电极引到LED芯片上,完成产品内外引线的连接工作。
LED的压焊工艺有金丝球焊和铝丝压焊两种。
到此,以上就是小编对于黄光工艺的问题就介绍到这了,希望介绍关于黄光工艺的3点解答对大家有用。
本文转载自互联网,如有侵权,联系删除